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Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP

Das Fraun­ho­fer FEP wid­met sich der Ent­wick­lung inno­va­ti­ver Lösun­gen, Tech­no­lo­gien und Pro­zesse zur Ver­ede­lung von Ober­flä­chen und für die orga­ni­sche Elek­tro­nik. Unsere Kern­kom­pe­ten­zen Elek­tro­nen­strahl­tech­no­lo­gie, Sput­tern, plas­maak­ti­vierte Hoch­rate­be­damp­fung, Hoch­rate-PECVD sowie Tech­no­lo­gien für orga­ni­sche Elek­tro­nik und IC-/ Sys­tem­de­sign nut­zen wir zur Lösung viel­fäl­ti­ger indus­tri­el­ler Pro­blem­stel­lun­gen der Ober­flä­chen­be­hand­lung, Vaku­um­be­schich­tung und der orga­ni­schen Halb­lei­ter.

WIR BIE­TEN AB SOFORT EINE

Abschluss­ar­beit

zum Thema "Plas­ma­vor­rei­ni­gung von Si-Wafern mit­tels Was­ser­stoff-Radi­kal­quelle"

Auf­ga­ben­be­sch­rei­bung:

Der Bereich Prä­zi­si­ons­be­schich­tung ent­wi­ckelt Pro­zesse und Tech­no­lo­gien, um elek­tri­sche, opti­sche, akus­ti­sche oder magne­tisch wirk­same Schich­ten und Schicht­sys­teme mit Vaku­um­ver­fah­ren prä­zise und homo­gen auf große Flä­chen auf­zu­brin­gen. So wer­den die Grund­la­gen für neue Pro­dukte in den Bran­chen Optik, Elek­tro­nik und Sen­so­rik, Pho­to­vol­taik, Spei­cher­me­dien sowie Bio­me­di­zin­tech­nik gelegt.

Vor­aus­set­zung für ein epi­tak­ti­sches (ein­kris­tal­li­nes) Schicht­wachs­tum auf Sili­zium-Wafern ist eine ato­mar sau­bere und unge­störte Sili­zium-Ober­flä­che. Her­kömm­lich kann diese mit­tels Was­ser­stoff-Behand­lung bei sehr hohen Tem­pe­ra­tu­ren erzeugt wer­den.

Ziel der Abschluss­ar­beit ist es, zu unter­su­chen, inwie­fern durch Nut­zung einer Was­ser­stoff-Radi­kal­quelle (Remote-Plas­maquelle) eine sol­che Ober­flä­che bei deut­lich gerin­ge­ren Wafer-Tem­pe­ra­tu­ren erzeugt wer­den kann.
Teil­auf­ga­ben der Arbeit sind die Inbe­trieb­nahme der Plas­maquelle an einer Vaku­um­an­lage des FEP und die Cha­rak­te­ri­sie­rung des Vor­be­hand­lungs­er­geb­nis­ses anhand der Abschei­dung von Sili­zium-Schich­ten auf die vor­be­han­del­ten Si-Wafer.

Er­war­te­te Qua­li­fi­ka­tio­nen:

Die Aus­schrei­bung rich­tet sich an Stu­die­rende tech­ni­scher und natur­wis­sen­schaft­li­cher Fach­rich­tun­gen, ins­be­son­dere der Phy­sik, der Elek­tro­tech­nik, der Che­mie oder den Mate­ri­al­wis­sen­schaf­ten und ver­wand­ter Fach­rich­tun­gen.

Der Umfang der Arbeit rich­tet sich nach der jewei­li­gen Prü­fungs­ord­nung der Hoch­schule. Die Arbeit kann sowohl von Uni­ver­si­täts- als auch von Fach­hoch­schul­stu­den­ten durch­ge­führt wer­den.

Für Bache­lor­stu­den­ten ist die Aus­schrei­bung auf­grund einer län­ge­ren Ein­ar­bei­tungs­zeit nur dann geeig­net, wenn die Bache­l­or­ar­beit mit einem For­schungs­prak­ti­kum ver­bun­den wird und so das Thema über einen zusam­men­hän­gen­den Zeit­raum von min­des­tens 6 Mona­ten bear­bei­tet wer­den kann.

Sie sind moti­viert, krea­tiv, arbei­ten selb­stän­dig in ana­ly­ti­scher und struk­tu­rier­ter Arbeits­weise! Sie ver­fü­gen über gute MS-Office-Kennt­nisse, sehr gute Deutsch­kennt­nisse, gute Eng­lisch­kennt­nisse in Wort und Schrift und haben vor allem Spaß am wis­sen­schaft­li­chen und expe­ri­men­tel­len Arbei­ten.

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